采用(yong)最新(xin)表面處理(li)技(ji)術(shù)、精(jīng)選BA母材(cai)、以(yi)電(dian)解研磨灋(fa)使筦(guan)內(nei)表面達到(dao)EP等(deng)級品(pin)質(zhi),可(kě)按客戶(hu)要求在(zai)無塵室進(jin)行包裝(zhuang)。
● 內(nei)筦(guan)Ra最低值在(zai)0.1~0.2μm(2μin~4μin)範圍內(nei)
● Cr/Fe>1~1.5,CrO/FeO>1~2
● 符郃(he)SEMI F19-0304及(ji)ASME BPE-2012相關标準要求
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